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膜厚。沉積時間的不同膜厚也是不一樣的要根據PEVCD石墨舟鍍膜的顏色來適當的增加或減少它的沉積時間,片子發白要減少沉積時間,如偏紅則要適當的增加。每一舟片子要全面的確認,不允許把不良品流入到下道工序,如色斑、水印鍍膜不良,應及時挑出產線最常見的表面發白、色差、白點,其中表面發白主要由于氮化硅膜較厚導致,可通過調節膜沉積時間來調整;色差片主要由于氣路堵塞、石英管漏氣、微波故障等導致;白斑主要由于前道小黑點導致。反射率、折射率等的監測、特殊氣體的安全等。
表面發白色差片白斑
PECVD石墨舟鍍膜是太陽能電池片中比較重要的工序,也是體現一個企業太陽能電池片效率的一個重要指標,PECVD工序一般較忙,每一批電池片都需要監測,且鍍膜爐管較多,每一管一般幾百片(視設備而定),更改工藝參數后,驗證周期較長。PEVCD石墨舟鍍膜技術是整個光伏行業比較重視的技術,太陽能電池的效率提升可以通過PEVCD石墨舟鍍膜技術的提升來實現,太陽能電池領域的科學家們也樂此不疲,未來太陽能電池表面技術或許有可能成為太陽能電池理論效率的突破口
本文出自深圳市石金科技股份有限公司,公司是集銷售、應用開發,產品加工的石墨制品廠家,石墨棒、石墨舟、石墨板、異形石墨件、VC石墨模具、碳碳復合材料零件、電子半導體及單晶爐熱場保溫氈太陽能光伏產業等提供石墨材料、石墨模具和相關的石墨制品,歡迎致電13662687390/13631692183
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